1、減少了有害成分，真空燒結爐減少了氣氛中有害成分（水、氧、氮）對產品的不良影響。

例如要使電解氫氣中含水量只需真空度只要達到一定壓強就相當于含水量為很難達到的露點，而好的真空燒結爐獲得這樣的真空度相對容易。并且對于宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛（如活性金屬的燒結）或不容易出現脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結。

2、改良固相的性質，真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。

真空燒結有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。而且真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結后期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結的硬質合金。

3、溫度要求低。

真空燒結爐溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低很多溫度。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。并且真空燒結時通過嚴格控制真空度，即使爐內壓力不低于燒結金屬組分的蒸氣壓，也可大大減少或避免燒結硬質合金時出現鉆的揮發損失。