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氣壓燒結爐重點用于半導體元器件和電力整流器件的燒結工藝,可完成真空燒結,氣體保護燒結和常規燒結等燒結工藝,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝設備,它的構造大方,操作容易,在一臺機器上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面咱們來看看氣壓燒結爐遇到以下三種情況可以采取的應急措施。
一、遇到停電
1、遇到停電時,假若斷水,應馬上接通備用的冷卻水,接通水源。
2、假若在非升溫、加熱和冷卻時,可以盡快恢復時,重新啟動機器,繼續運轉如需要較長時間,則將機器保持原狀。
3、假若正在加熱和冷卻時,可以盡快恢復時,重新啟動機器,假若需要較長時間時,則保持原狀,讓機器自然冷卻下來。
二、加熱電源掉電
1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源發生故障,掉電的原由可以認為是由于電介質擊穿而引起的放電。
三、充氣氣體停止
1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥和氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再完成檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關閉氣體供給閥和配管在內的所有氣體系統。
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。